Fijnstof wordt ook wel PM10 genoemd, dit zijn deeltjes met een diameter kleiner dan 10 micrometer (1 micrometer is 1 duizendste millimeter). De laatste jaren is er meer aandacht voor de fractie PM2,5 stof, deeltjes met een diameter kleiner dan 2,5 micrometer. Deze fijnstof deeltjes komen bij inademing dieper in de luchtwegen terecht dan PM10. Ook is de bijdrage van natuurlijke bronnen aan de PM2,5 concentratie kleiner dan aan de PM10 concentratie.
Ultrafijn stof bestaat uit nog kleinere deeltjes (nanodeeltjes). Deze deeltjes ontstaan vooral bij verbrandingsprocessen zoals dieselroet. Deze deeltjes kunnen na inademing in de bloedbaan worden opgenomen en zo gezondheidsschade veroorzaken. Veel wetenschappers denken dat vooral deze maat voor fijnstof samenhangt met gezondheidseffecten. Voor ultrafijn stof en zwarte rook bestaan geen normen. Voor PM10 wel en vanaf 2015 voor PM2,5 ook. Voor de duidelijkheid: deze normen bieden geen garantie voor de gezondheid, ook beneden deze normen kan gezondheidsschade optreden.
Fijnstof kan ook een natuurlijke bron hebben, bijvoorbeeld zeezout of fijne zanddeeltjes. Fijnstof is in feite dus een mengsel van verschillende deeltjes, die verschillen in oorsprong en eigenschappen. Fijnstof wordt gezien als een van de meest schadelijke componenten van luchtverontreiniging.